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Die niederländische ASML, einer der weltweit größten Hersteller von Lithografie-Geräten für die Hableiter-Chipherstellung, verklagt seinen Konkurrenten Nikon wegen Patentverletzung.

Die niederländische Firma ASML [1], einer der weltweit größten Hersteller von Lithografie-Geräten für die Hableiter-Chipherstellung, verklagt den japanischen Konkurrenten Nikon [2] wegen Patentverletzung. Vor einem Bezirksgericht in Tokio klagt ASML auf Einstellung der Produktion und des Verkaufs bestimmter Nikon-Lithografie-Systeme [3], die einen von ASML patentierten "Wafer Handler" zur Handhabung der Siliziumscheiben enthalten. Außerdem verlangen die ASML-Anwälte umgerechnet rund 97 Millionen Euro Schadenersatz für bereits ausgelieferte Geräte.

Nach eigenen Angaben hat ASML damit die dritte Maßnahme gegen Nikon innerhalb von fünf Monaten eingeleitet; die beiden anderen Beschwerden laufen vor einem Gericht in Kalifornien und bei der International Trade Commsission der USA (USITC [4]). In beiden Fällen sollen die eigentlichen juristischen Auseinandersetzungen wohl erst im Jahre 2004 weitergehen.

Vor allem in schwierigen wirtschaftlichen Zeiten [5] führen die Konkurrenten im Halbleiter-Anlagenmarkt ihren Streit um Marktanteile mit harten Bandagen. Viele Fortschritte der Lithografie-Technik [6] waren nur mit massiver finanzieller Unterstützung der öffentlichen Hand [7] möglich; in den USA gab es daher vor der Übernahme [8] der Silicon Valley Group duch ASML Bedenken [9], das Know-how des US-Unternehmens den Europäern zugänglich zu machen. Immer wieder gibt es in der Branche daher Anlass zu juristischem Streit.

Bis vor rund zwei Jahren hielt Philips einen 23,7-Prozent-Anteil an ASML, mittlerweile [10] sind es nur noch 6,7 Prozent. (ciw [11])

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https://www.heise.de/-56760

Links in diesem Artikel:
[1] http://www.asml.com/
[2] http://www.nikon.co.jp/main/index_e.htm
[3] http://www.ave.nikon.co.jp/pec_e/products/ic.htm
[4] http://www.usitc.gov/
[5] https://www.heise.de/news/ASML-sieht-Hoffnung-fuer-die-Halbleiterbranche-57949.html
[6] https://www.heise.de/news/Intel-kauft-erstes-System-fuer-Extrem-UV-Lithografie-63519.html
[7] https://www.heise.de/news/Bund-foerdert-Entwicklung-von-157-nm-Lithographie-25271.html
[8] https://www.heise.de/news/Neuer-Branchenfuehrer-bei-Chip-Produktionsanlagen-27853.html
[9] https://www.heise.de/news/US-Regierung-blockiert-ASM-Lithografie-Deal-42667.html
[10] https://www.heise.de/news/Philips-versechsfacht-Gewinn-im-ersten-Halbjahr-Update-31589.html
[11] mailto:ciw@ct.de

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