Lithografie-Systeme: US-Ausschuss will strengere Regeln fĂŒr China
ASMLs Lithografie-System Twinscan NXT:1980Di, das der Hersteller aktuell weiter nach China verkaufen darf.
(Bild: ASML)
Die USA werben fĂŒr eine VerschĂ€rfung der ExportbeschrĂ€nkungen gegen China. Das Land hĂ€nge maĂgeblich von ASML & Co. ab.
Ein Untersuchungsausschuss des US-ReprĂ€sentantenhauses will Chinas Halbleiterindustrie noch hĂ€rter rannehmen als bisher. In einem Bericht [1] wirbt der parteiĂŒbergreifende Ausschuss fĂŒr deutlich strengere Exportregeln fĂŒr Hersteller von Systemen, die fĂŒr die Chipfertigung notwendig sind.
Im Fokus stehen der niederlĂ€ndische WeltmarktfĂŒhrer fĂŒr Lithografie-Systeme ASML, Tokyo Electron aus Japan sowie die drei US-Zulieferer Applied Materials, KLA und Lam Research. Sie bauen etwa Anlagen zum Ătzen der Siliziumwafer und fĂŒr die weitere Verarbeitung.
LangjÀhrige Tradition
Die ersten ExporteinschrĂ€nkungen verfĂŒgte die US-Regierung bereits in den spĂ€ten 2010er-Jahren: Die USA drĂ€ngten die Niederlande, ASML keine Lithografie-Systeme mit extrem-ultravioletter (EUV-)Belichtungstechnik nach China verkaufen zu lassen. Chipauftragsfertiger wie TSMC und Samsung setzen sie seit der 7-Nanometer-Generation ein, da sie zuverlĂ€ssiger feine Strukturen abbilden können als vorherige Systeme mit tief-ultravioletter Belichtungstechnik (Deep Ultraviolet, DUV).
2023 folgten hÀrtere Bestimmungen, die bis heute ASMLs modernsten DUV-Systeme betreffen [2]: Die Firma darf nur noch Àltere Varianten an chinesische Hersteller verkaufen, die etwa bei der Ausrichtung der zu belichtenden Wafer limitiert sind.
Der US-Ausschuss lamentiert jetzt, dass China seine Halbleiterindustrie trotz Sanktionen erheblich weiter ausbaut. Als Beispiel fĂŒhrt er 7-Nanometer-Chips an, die der chinesische Chipauftragsfertiger SMIC fĂŒr Huawei mit Mehrfachbelichtungen herstellt [3].
ASML, Tokyo Electron, Applied Materials, KLA und Lam Research sollen 2024 zusammen rund 38 Milliarden US-Dollar mit VerkÀufen an chinesische Firmen eingenommen haben. Das entsprÀche 39 Prozent von deren Gesamtjahresumsatz. Auf ASML allein entfallen gut 10 Milliarden, wie der Hersteller in seinem eigenen GeschÀftsbericht offenlegt [4].
Strengere Regeln
Im Fokus des Berichts stehen Lieferungen an SMIC, aber auch die Chipauftragsfertiger Pengxinwei (PXW) und Shenzhen Pensun (PST) sowie Speicherhersteller wie YMTC und SwaySure Technology. Einige der Firmen arbeiten eng mit Huawei zusammen, der inzwischen eigene Halbleiterwerke betreiben soll [5].
Der Ausschuss will zum einen, dass einige der hĂ€rteren ExporteinschrĂ€nkungen nicht mehr an Firmen wie Huawei gekoppelt sind, sondern fĂŒr ganz China gelten. Zum anderen sollen noch mehr Systeme unter die EinschrĂ€nkungen fallen. Hersteller dĂŒrften dann nur noch Ă€ltere Typen exportieren, wenn ĂŒberhaupt.
[6](mma [7])
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[1] https://selectcommitteeontheccp.house.gov/sites/evo-subsites/selectcommitteeontheccp.house.gov/files/evo-media-document/selling-the-forges-of-the-future.pdf
[2] https://www.heise.de/news/Exportverbot-ASML-darf-nur-noch-alte-Lithografie-Systeme-nach-China-verkaufen-9204299.html
[3] https://www.heise.de/news/China-produziert-konkurrenzfaehige-7-Nanometer-Chips-9294225.html
[4] https://www.heise.de/news/Lithografie-Systeme-ASML-schreibt-Rekordzahlen-10260879.html
[5] https://www.heise.de/news/Huawei-ist-jetzt-offenbar-auch-Chipfertiger-10373636.html
[6] https://www.heise.de/newsletter/anmeldung.html?id=ki-update&wt_mc=intern.red.ho.ho_nl_ki.ho.markenbanner.markenbanner
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